Для цитирования:

Терашкевич Д.И., Бокова Е.С., Евсюкова Н.В. Разработка жестких полировальных материалов для применения в микроэлектронике. Пластические массы. 2024;(2):39-44. https://doi.org/10.35164/0554-2901-2024-02-39-44

For citation:

Terashkevich D.I., Bokova E.S., Evsukova N.V. Development of rigid polishing materials for use in microelectronics. Plasticheskie massy. 2024;(2):39-44. (In Russ.) https://doi.org/10.35164/0554-2901-2024-02-39-44