Для цитирования:

Терашкевич Д.И., Бокова Е.С., Коваленко Г.М. Разработка эластичных полировальных материалов для процесса химико-механической планаризации. Пластические массы. 2023;(3-4):44-48. https://doi.org/10.35164/0554-2901-2023-3-4-44-48

For citation:

Terashkevich D.I., Bokova E.S., Kovalenko G.M. Development of elastic polishing materials for the process of chemical-mechanical planarization. Plasticheskie massy. 2023;(3-4):44-48. (In Russ.) https://doi.org/10.35164/0554-2901-2023-3-4-44-48