Для цитирования:

Плотников Д.С., Бокова Е.С., Терашкевич Д.И., Барашкова К.А., Евсюкова Н.В., Золина Л.И. Сравнительный анализ водных суспензий оксида церия и модифицирующих добавок для процесса химико-механической планаризации пластин с мелкощелевой изоляцией. Пластические массы. 2026;1(1):51-56. https://doi.org/10.35164/0554-2901-2026-01-51-56

For citation:

Plotnikov D.S., Bokova E.S., Terashkevich D.I., Barashkova K.A., Evsyukova N.V., Zolina L.I. Comparative analysis of aqueous suspensions of cerium oxide and modifying additives for the process of chemical and mechanical planarization of plates with Shallow Trench Isolation. Plasticheskie massy. 2026;1(1):51-56. (In Russ.) https://doi.org/10.35164/0554-2901-2026-01-51-56